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MEMS(micro electro mechanical system)とは、
機械部品と電子回路を融合し微細部品を形成した微小電子機械部品です。

光MEMS静電共振ミラーとは、光学用途に駆動ミラーを単結晶シリコン上に形成し、櫛形駆動部を静電気を用いて上下させる事によりミラーを動かし、周波数で共振増幅させた単一ミラー面に半導体レーザーを照射し、画像をスキャニング、プロジェクション更にはディスプレイする目的に用いる微小電子機械ミラー部品です

当社では革新的なMEMSユニットを開発・製造する台湾OPUS社のMEMSミラーユニットを販売しております。OPUS社は2004年ユーザーのニーズに対応し新しい市場を創造することを目的に設立されました。MEMSマイクロ・スキャニングミラー及びそのアプルケーションモジュールを製作しております。



用途として、
バーコードレーザースキャナ、レーザースキャンプロジェクター、ポケットプロジェクター、レーザースキャンプリンターや、その他画像センサー、非接触センサー等のセキュリティ関連及び製造現場等での品質管理に関わるセンサー、物体形状の計測及び特殊顕微鏡等が考えられますが、将来的には携帯電話にプロジェクターを内蔵したり、超小型のレーザープリンター等のカラー色への応用も可能と思われます。


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光MEMSミラーユニット

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  • 光MEMSミラーユニット

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